彭博社引述消息報道,美國政府擔心荷蘭光刻機巨頭艾司摩爾(ASML)的先進光刻機,可能違反出口限制並已經流入中國,商務部長盧特尼克在近期的一系列會議上,向公司高層表達關切。
報道指,盧特尼克關注的焦點,包括可以生產尖端晶片、禁止向中國出口的極紫外光刻機(EUV);與會的ASML高層則反駁盧特尼克的憂慮,強調沒有流入中國。不過報道引述華府官員指,有證據顯示ASML向中國出口相關設備,但以性質敏感為由,拒絕透露詳情和公開相關證據。
消息人士指,ASML於4月與盧特尼克會面後,已進入「危機模式」,並已準備澄清的文件,內容表明全球超過300部EUV機器中,沒有任何一部在中國;公司亦可以偵測EUV產品組合的異常情況,如果沒有ASML參與,客戶無法自行拆除、運輸和重新安置EUV系統。
美國商務部未有回應。ASML重申,從來沒有向中國出口EUV,相關謠言並不真確,並損害公司聲譽。發言人強調ASML一直致力遵守所有法規,並與各國政府保持溝通。荷蘭外交部亦強調,嚴格地執行對光刻機等相關出口限制,會在必要時作出干預。